silicon photonicsសមាសភាគអកម្ម
មានសមាសធាតុអកម្មសំខាន់ៗជាច្រើននៅក្នុងកម្មវិធីថតរូបស៊ីលីកុន។ មួយក្នុងចំណោមនោះគឺជាគូស្វាម៉ីភឺរបញ្ចេញលើផ្ទៃដែលបង្ហាញក្នុងរូបភាព 1 ក។ វាមានការចាប់អារម្មណ៍យ៉ាងខ្លាំងនៅក្នុងរលកមួយដែលរយៈពេលដែលមានប្រហាក់ប្រហែលនឹងរលកពន្លឺនៃរលកពន្លឺនៅរលករលកធាតុអាកាស។ នេះអនុញ្ញាតឱ្យបញ្ចេញពន្លឺឬទទួលបានកាត់កែងលើផ្ទៃដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ការវាស់កម្រិត Wafer និង / ឬភ្ជាប់ទៅនឹងជាតិសរសៃ។ គន្លឹះដែលមានការចាប់អារម្មណ៍គឺមានលក្ខណៈប្លែកពីស៊ីលីកុនដែលពួកគេត្រូវការកម្រិតពណ៌សន្ទស្សន៍បញ្ឈរខ្ពស់។ ឧទាហរណ៍ប្រសិនបើអ្នកព្យាយាមធ្វើឱ្យគូស្វាម៉ីភរិយាដែលមានភាពអាប់អួក្នុងរលក inp មួយដែលលេចធ្លាយដោយផ្ទាល់ទៅក្នុងស្រទាប់ខាងក្រោមជំនួសឱ្យការបញ្ចេញបញ្ឈរព្រោះរលកដឹងគុណមានសន្ទស្សន៍តូចមធ្យមទាបជាងស្រទាប់ខាងក្រោម។ ដើម្បីធ្វើឱ្យវាដំណើរការនៅក្នុងអ៊ីនធឺរណែតសម្ភារៈត្រូវតែជីកនៅក្រោមការអាប់ភ្លេតដើម្បីផ្អាកវាដូចដែលបានបង្ហាញក្នុងរូបភាពទី 1 ខ។
រូបភាពទី 1: ការបញ្ចេញនូវក្រូចឆ្មារមួយវិមាត្រមួយវិមាត្រនៅស៊ីលីខន (ក) និងអ៊ិនភី (ខ) ។ ក្នុង (ក) ពណ៌ប្រផេះនិងខៀវស្រាលតំណាងឱ្យស៊ីលីកុននិងស៊ីលីការៀងៗខ្លួន។ នៅក្នុង (ខ) ក្រហមនិងពណ៌ទឹកក្រូចតំណាងឱ្យ ingaasp និង inp រៀងគ្នារៀងៗខ្លួន។ តួលេខ (គ) និង (ឃ) កំពុងស្កេនរូបភាពមីក្រូទស្សន៍អេឡិចត្រូនិចរបស់អេឡិចត្រូនិចរបស់អ៊ិនធឺណែតដែលបានផ្អាកកូនចិញ្ចឹម។
សមាសធាតុសំខាន់មួយទៀតគឺឧបករណ៍បំលែងទំហំផ្ទុក (អេសស៊ីស៊ី) រវាងឯកសារព្រួញអុបទិកហើយជាតិសរសៃដែលបំលែងរបៀបប្រហែល 0.5 × 1 μm2ក្នុងរលកស៊ីលីកុនដល់របៀបប្រហែល 10 × 10 μm2ក្នុងសរសៃ។ វិធីសាស្រ្តធម្មតាគឺត្រូវប្រើរចនាសម្ព័ន្ធមួយដែលគេហៅថាបន្ថយសម្ពាធដែលក្នុងនោះរលកធាតុអាកាសដែលបណ្តាលឱ្យតូចមួយទៅចុងតូចមួយដែលបណ្តាលឱ្យមានការពង្រីកយ៉ាងសំខាន់នៃរេក្យងឆ្លុហស្បុងរបៀបបំណះ។ របៀបនេះអាចត្រូវបានថតដោយវ៉ែនតាកញ្ចក់ដែលបានផ្អាកដូចបង្ហាញក្នុងរូបភាពទី 2 ។ ជាមួយនឹងស៊ីស៊ីស៊ីស៊ីស៊ីស៊ីស៊ីស៊ីការខាតបង់តិចជាង 1.5 ឌីអេសងាយទទួលបានជោគជ័យ។
រូបភាពទី 2 ការផ្លាស់ប្តូរទំហំទំហំលំនាំសម្រាប់រលកខ្សែភ្លើងលួសស៊ីលីកុន។ សម្ភារៈស៊ីលីកុនបង្កើតបានជារចនាសម្ព័ន្ធរាងសាជីរបញ្ច្រាសនៅខាងក្នុងរលកបាញ់កញ្ចក់វ៉ែនតាដែលបានផ្អាក។ ស្រទាប់ខាងក្រោម Silicon ត្រូវបានដកចេញនៅខាងក្រោមរលកដែលបានផ្អាករលកដែលបានផ្អាក។
សមាសធាតុអកម្មសំខាន់គឺការបំបែកធ្នឹមធ្នឹមរាងប៉ូល។ ឧទាហរណ៏មួយចំនួននៃការបែកខ្ចាត់ខ្ចាយ plilational ត្រូវបានបង្ហាញក្នុងរូបភាពទី 3 ។ ទីមួយគឺការជ្រៀតជ្រែក Mach-_enerometer Mach-Zener (MZI) ដែលដៃនីមួយៗមានខ្សែភ្លើងផ្សេង។ ទីពីរគឺជាគូស្វាម៉ីភរិយាដែលមានទិសដៅសាមញ្ញ។ រូបរាងក្រម៌កថានៃរលកខ្សែភ្លើងលួសស៊ីលីខនធម្មតាគឺខ្ពស់ណាស់ដូច្នេះពន្លឺដែលមានរាងប៉ូលចម្លងអាចត្រូវបានផ្សំយ៉ាងពេញលេញខណៈពេលដែលពន្លឺអេឡិចត្រូនិចប្រែប្រួល (TE) អាចនឹងស្ទើរតែមិនមានរាងពងក្រពើ។ ទីបីគឺជាគូស្វាម៉ីភរិយាដែលមានការចាប់អារម្មណ៍ដែលដែលជាតិសរសៃត្រូវបានដាក់នៅមុំដូច្នេះពន្លឺដែលមានរាងប៉ូលត្រូវបានគួបផ្សំក្នុងទិសដៅតែមួយហើយពន្លឺដែលមានរាងប៉ូលរាងប៉ូល TM ត្រូវបានផ្សំនៅម្ខាងទៀត។ ទីបួនគឺជាគូស្វាម៉ីភឺរដឹងគុណវិមាត្រពីរវិមាត្រ។ ប្រព័ន្ធសរសៃរបស់វាដែលវាលអគ្គិសនីកាត់កែងទៅទិសដៅនៃការរីករាលដាលរលករលកធាតុអាកាសត្រូវបានភ្ជាប់ទៅនឹងរលកនៃរលកដែលត្រូវគ្នា។ ជាតិសរសៃអាចត្រូវបានផ្អៀងនិងគួបផ្សំនឹងរលកពីរឬកាត់កែងលើផ្ទៃខាងលើហើយរួមទៅក្នុងរលកបួន។ គុណប្រយោជន៍បន្ថែមនៃគូស្វាម៉ីភឺរដែលមានភាពវាងវៃពីរវិមាត្រគឺពួកគេដើរតួជាអ្នកផ្លាស់ប្តូររាងពងភាពមានន័យថាពន្លឺទាំងអស់នៅលើបន្ទះឈីបមានរាងប៉ូលដដែលប៉ុន្តែមានរាងពងក្រពើពីរត្រូវបានប្រើក្នុងសរសៃ។
រូបភាពទី 3: ការបញ្ចោញរាងពងភាពច្រើន។
ពេលវេលាក្រោយ: ខែកក្កដា -17-2024