សមាសធាតុអកម្មនៃ Silicon Photonics

ស៊ីលីកុនហ្វូតូនិចសមាសធាតុអកម្ម

មានសមាសធាតុអកម្មសំខាន់ៗជាច្រើននៅក្នុងសូលុយស្យុងស៊ីលីកុន។ មួយក្នុងចំនោមទាំងនេះគឺជាគូស្វាម៉ីភរិយាដែលបញ្ចេញពន្លឺលើផ្ទៃ ដូចបង្ហាញក្នុងរូបភាពទី 1A។ វាមានក្រឡាចត្រង្គដ៏រឹងមាំនៅក្នុង waveguide ដែលរយៈពេលគឺប្រហែលស្មើនឹងប្រវែងរលកនៃរលកពន្លឺនៅក្នុង waveguide ។ នេះអនុញ្ញាតឱ្យពន្លឺបញ្ចេញ ឬទទួលកាត់កែងទៅនឹងផ្ទៃ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ការវាស់វែងកម្រិត wafer និង/ឬភ្ជាប់ទៅសរសៃ។ Grating couplers មានលក្ខណៈពិសេសខ្លះសម្រាប់ស៊ីលីកុន photonics ដែលពួកគេត្រូវការកម្រិតពណ៌សន្ទស្សន៍បញ្ឈរខ្ពស់។ ជាឧទាហរណ៍ ប្រសិនបើអ្នកព្យាយាមបង្កើតឧបករណ៍ភ្ជាប់ grating នៅក្នុងមគ្គុទ្ទេសក៍រលក InP ធម្មតា ពន្លឺនឹងលេចធ្លាយដោយផ្ទាល់ទៅក្នុងស្រទាប់ខាងក្រោម ជំនួសឱ្យការបញ្ចោញតាមបញ្ឈរ ពីព្រោះឧបករណ៍រលកសញ្ញាមានសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរមធ្យមទាបជាងស្រទាប់ខាងក្រោម។ ដើម្បីធ្វើឱ្យវាដំណើរការនៅក្នុង InP សម្ភារៈត្រូវតែត្រូវបានជីកនៅក្រោមក្រឡាចត្រង្គដើម្បីព្យួរវាដូចបង្ហាញក្នុងរូបភាពទី 1B ។


រូបភាពទី 1: ឧបករណ៍ភ្ជាប់អង្កត់ទ្រូងមួយវិមាត្រដែលបញ្ចេញលើផ្ទៃនៅក្នុងស៊ីលីកុន (A) និង InP (B) ។ នៅក្នុង (A) ពណ៌ប្រផេះ និងពណ៌ខៀវស្រាលតំណាងឱ្យស៊ីលីកុន និងស៊ីលីការៀងគ្នា។ នៅក្នុង (B) ពណ៌ក្រហម និងពណ៌ទឹកក្រូចតំណាងឱ្យ InGaAsP និង InP រៀងគ្នា។ តួលេខ (C) និង (D) កំពុងស្កែនរូបភាពមីក្រូទស្សន៍អេឡិចត្រុង (SEM) នៃឧបករណ៍ភ្ជាប់អង្កត់ទ្រូងដែលផ្អាក InP ។

សមាសភាគសំខាន់មួយទៀតគឺ Spot-size converter (SSC) រវាងមគ្គុទ្ទេសក៍រលកអុបទិកនិងជាតិសរសៃដែលបំប្លែងរបៀបប្រហែល 0.5 × 1 μm2 ក្នុងរលកស៊ីលីកុនទៅជារបៀបប្រហែល 10 × 10 μm2 នៅក្នុងសរសៃ។ វិធីសាស្រ្តធម្មតាគឺត្រូវប្រើរចនាសម្ព័ន្ធដែលហៅថា ច្រាសទ្រនិច ដែលនៅក្នុងនោះ មគ្គុទ្ទេសក៍រលកបន្តិចម្តង ៗ រួមតូចទៅចុងតូចមួយ ដែលនាំឱ្យមានការពង្រីកយ៉ាងសំខាន់នៃអុបទិកបំណះរបៀប។ របៀបនេះអាចត្រូវបានចាប់យកដោយរលកកញ្ចក់ដែលផ្អាក ដូចបង្ហាញក្នុងរូបភាពទី 2។ ជាមួយនឹង SSC បែបនេះ ការបាត់បង់ការភ្ជាប់គ្នាតិចជាង 1.5dB ត្រូវបានសម្រេចយ៉ាងងាយស្រួល។

រូបភាពទី 2៖ ឧបករណ៍បំលែងទំហំលំនាំសម្រាប់ឧបករណ៍បំលែងខ្សែស៊ីលីកុន។ វត្ថុធាតុស៊ីលីកុនបង្កើតជារចនាសម្ព័ន្ធរាងសាជីបញ្ច្រាសនៅខាងក្នុង មគ្គុទ្ទេសក៍រលកកញ្ចក់ដែលផ្អាក។ ស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនត្រូវបានឆ្លាក់ចេញនៅក្រោមឧបករណ៍រលកកញ្ចក់ដែលផ្អាក។

សមាសធាតុអកម្មសំខាន់គឺឧបករណ៍បំបែកធ្នឹមប៉ូល។ ឧទាហរណ៍មួយចំនួននៃការបំបែកបន្ទាត់រាងប៉ូលត្រូវបានបង្ហាញក្នុងរូបភាពទី 3 ។ ទីមួយគឺឧបករណ៍វាស់ស្ទង់អន្តរទ្វីប Mach-Zender (MZI) ដែលដៃនីមួយៗមាន birefringence ខុសៗគ្នា។ ទីពីរគឺជាឧបករណ៍ភ្ជាប់ទិសដៅសាមញ្ញ។ រូបរាង birefringence នៃ waveguide ខ្សែ silicon ធម្មតាគឺខ្ពស់ណាស់ ដូច្នេះពន្លឺ polarized magnetic transverse (TM) អាចត្រូវបានភ្ជាប់គ្នាយ៉ាងពេញលេញ ខណៈពេលដែល transverse Electrical (TE) polarized light អាចស្ទើរតែមិនមានគូ។ ទីបីគឺជាឧបករណ៍ភ្ជាប់ grating ដែលក្នុងនោះសរសៃត្រូវបានដាក់នៅមុំមួយដើម្បីឱ្យ TE polarized light ត្រូវបានភ្ជាប់ក្នុងទិសដៅមួយ ហើយ TM polarized light ត្រូវបានភ្ជាប់ជាមួយផ្សេងទៀត។ ទីបួនគឺជាឧបករណ៍ភ្ជាប់ក្រឡាចត្រង្គពីរវិមាត្រ។ របៀប​សរសៃ​ដែល​វាល​អគ្គិសនី​កាត់​កែង​ទៅ​នឹង​ទិសដៅ​នៃ​ការ​សាយភាយ​រលក​ត្រូវ​បាន​ភ្ជាប់​ទៅ​នឹង​ waveguide ដែល​ត្រូវ​គ្នា។ ជាតិសរសៃអាចត្រូវបានផ្អៀង និងភ្ជាប់ជាមួយ waveguides ពីរ ឬកាត់កែងទៅនឹងផ្ទៃ ហើយភ្ជាប់ទៅ waveguides បួន។ អត្ថប្រយោជន៍បន្ថែមនៃឧបករណ៍ភ្ជាប់ក្រឡាចត្រង្គពីរវិមាត្រគឺថា ពួកវាដើរតួជាអ្នកបង្វិលប៉ូឡូញ មានន័យថាពន្លឺទាំងអស់នៅលើបន្ទះឈីបមានបន្ទាត់រាងប៉ូលដូចគ្នា ប៉ុន្តែបន្ទាត់រាងប៉ូលពីរត្រូវបានប្រើនៅក្នុងសរសៃ។

រូបភាពទី 3៖ ឧបករណ៍បំបែកបន្ទាត់រាងប៉ូលច្រើន។


ពេលវេលាផ្សាយ៖ កក្កដា-១៦-២០២៤