រចនានៃផ្ទហេតុសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា
សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាប្រថុយប្រថាន(PIC) ជារឿយៗត្រូវបានរចនាឡើងដោយមានជំនួយពីស្គ្រីបគណិតវិទ្យាដោយសារតែសារៈសំខាន់នៃប្រវែងផ្លូវក្នុងកម្មវិធី Intacer ឬកម្មវិធីផ្សេងទៀតដែលងាយនឹងមានប្រវែងផ្លូវ។ផុត្រូវបានផលិតដោយការបង្ហាញស្រទាប់ជាច្រើន (ធម្មតាពី 10 ទៅ 30) នៅលើវ៉ាលីដែលមានរាងដូចពហុសម័យជាច្រើនដែលជារឿយៗតំណាងឱ្យទ្រង់ទ្រាយ GDSII ។ មុនពេលបញ្ជូនឯកសារទៅក្រុមហ៊ុនផលិតថ្នាំ PhotoMask វាពិតជាគួរឱ្យចង់បានយ៉ាងខ្លាំងដែលអាចធ្វើត្រាប់តាម Pic ដើម្បីផ្ទៀងផ្ទាត់ភាពត្រឹមត្រូវនៃការរចនា។ ការពិសោធន៏ត្រូវបានបែងចែកទៅជាកម្រិតច្រើន: កម្រិតទាបបំផុតគឺអេឡិចត្រូនិចអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចដែលបានអនុវត្តនៅកម្រិតរលកធន់ទោះបីជាអន្តរក្រសួងដែលមាននៅលើមាត្រដ្ឋានម៉ាក្រូ។ វិធីសាស្រ្តធម្មតារួមមានដែនរយៈពេលខុសគ្នានៃពេលវេលាខុសគ្នា។ (3D FDTD) និងការពង្រីក EigenMode (EME) ។ វិធីសាស្រ្តទាំងនេះគឺត្រឹមត្រូវបំផុតប៉ុន្តែមិនសមហេតុផលសម្រាប់ពេលវេលានៃការក្លែងធ្វើទាំងមូល។ កម្រិតបន្ទាប់គឺ 2,5- វិមាត្រអេមអេមអេមអេមអេមអេសដូចជាការឃោសនារបស់កញ្ចក់ធ្នឹមដែលមានភាពខុសគ្នា (អេហ្វឌីប៊ីភីភី) ។ វិធីសាស្រ្តទាំងនេះគឺលឿនជាងមុនប៉ុន្តែបានលះបង់ភាពត្រឹមត្រូវខ្លះហើយអាចគ្រប់គ្រងការរីករាលដាលនៃការរីករាលដាលនៃកប៉ាល់ហើយមិនអាចប្រើដើម្បីក្លែងធ្វើអ្នកអភិរក្សបានទេ។ កម្រិតបន្ទាប់គឺការក្លែងធ្វើ 2D អេមអេមដូចជា 2D FDTD និង 2D BPM ។ ទាំងនេះក៏លឿនជាងមុនដែរប៉ុន្តែមានមុខងារមានកំណត់ដូចជាពួកគេមិនអាចធ្វើឱ្យមានភាពតានតឹងនៃការផ្លាស់ប្តូររាងពងនីយកម្ម។ កម្រិតមួយទៀតគឺការបញ្ជូននិង / ឬការពិសោធន៏ម៉ាទ្រីស Scatix ។ សមាសធាតុសំខាន់ៗនីមួយៗត្រូវបានកាត់បន្ថយទៅជាសមាសធាតុដែលមានធាតុបញ្ចូលនិងទិន្នផលហើយរលកដែលបានភ្ជាប់ត្រូវបានកាត់បន្ថយទៅជាធាតុនៃការផ្លាស់ប្តូរដំណាក់កាលនិងធាតុនៃការដឹង។ ការពិសោធន៏ទាំងនេះមានល្បឿនលឿនណាស់។ សញ្ញាទិន្នផលត្រូវបានទទួលដោយគុណនឹងម៉ាទ្រីសបញ្ជូនដោយសញ្ញាបញ្ចូល។ ម៉ាទ្រីសខ្ចាត់ខ្ចាយខ្ចាត់ខ្ចាយ (ដែលធាតុដែលមានឈ្មោះថាអេស - ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ) គុណនឹងគុណនឹងមួយចំហៀងដើម្បីរកសញ្ញាបញ្ចូលនិងទិន្នផលនៅលើផ្នែកម្ខាងទៀតនៃសមាសធាតុ។ ជាទូទៅម៉ាទ្រីសខ្ចាត់ខ្ចាយខ្ចាត់ខ្ចាយមានការឆ្លុះបញ្ចាំងនៅខាងក្នុងធាតុ។ ម៉ាទ្រីសខ្ចាត់ខ្ចាយខ្ចាត់ខ្ចាយជាធម្មតាទ្វេដងដូចម៉ាទ្រីសបញ្ជូនក្នុងវិមាត្រនីមួយៗ។ សរុបសេចក្ដីមកពី 3D អ៊ីមដើម្បីបញ្ជូន / ខ្ចាត់ខ្ចាយម៉ាទ្រីសស្រទាប់នីមួយៗបង្ហាញពីការធ្វើពាណិជ្ជកម្មរវាងល្បឿននិងភាពត្រឹមត្រូវហើយអ្នករចនាជ្រើសរើសកម្រិតត្រឹមត្រូវនៃតម្រូវការជាក់លាក់របស់ពួកគេក្នុងការធ្វើឱ្យដំណើរការសុពលភាពជាក់លាក់របស់ពួកគេក្នុងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការជាក់លាក់របស់ពួកគេក្នុងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការជាក់លាក់របស់ពួកគេក្នុងការធ្វើឱ្យដំណើរការសុពលភាពរបស់ពួកគេ។
ទោះយ៉ាងណាការពឹងផ្អែកលើការធ្វើត្រាប់តាមអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចនៃធាតុមួយចំនួននិងប្រើម៉ាទ្រីសខ្ចាត់ខ្ចាយ / ផ្ទេរម៉ាទ្រីសដើម្បីក្លែងការថតរូបទាំងមូលមិនធានានូវការរចនាត្រឹមត្រូវទាំងស្រុងនៅពីមុខបន្ទះលំហូរនោះទេ។ ឧទាហរណ៍ប្រវែងផ្លូវខុសដែលបរាជ័យក្នុងការបង្ក្រាបរបៀបបញ្ជាទិញខ្ពស់ឬរលកពីរដែលជិតគ្នាជិតគ្នាដែលនាំឱ្យមានបញ្ហាគូស្វាម៉ីភរិយាទំនងជាមិនមានការចាប់អារម្មណ៍អំឡុងពេលក្លែងធ្វើ។ ដូច្នេះទោះបីជាឧបករណ៍ធ្វើត្រាប់តាមកម្រិតខ្ពស់ផ្តល់នូវសមត្ថភាពធ្វើឱ្យមានសុពលភាពការរចនាដែលមានអនុភាពក៏ដោយក៏វានៅតែត្រូវការការត្រួតពិនិត្យយ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្ននិងការត្រួតពិនិត្យដោយយកចិត្តទុកដាក់ដោយបទពិសោធន៍ជាក់ស្តែងនិងចំណេះដឹងបច្ចេកទេសដើម្បីធានានូវភាពត្រឹមត្រូវនៃការរចនានិងបន្ថយហានិភ័យនៃសន្លឹកលំហូរ។
បច្ចេកទេសដែលគេហៅថា Speips FDTD អនុញ្ញាតឱ្យមានកម្មវិធីសិក្សា 3D និង 2D FDTD ត្រូវបានអនុវត្តដោយផ្ទាល់នៅលើការរចនាម៉ូដពេញលេញដើម្បីធ្វើឱ្យការរចនាមានសុពលភាព។ ទោះបីជាវាពិបាកសម្រាប់ឧបករណ៍ពិសោធន៏អេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចណាមួយដើម្បីធ្វើត្រាប់តាមភីកខ្នាតធំខ្លាំងនោះអេហ្វឌីអេសធីឌីអាចធ្វើត្រាប់តាមតំបន់ក្នុងស្រុកធំល្មម។ ក្នុងប្រពៃណី 3D FDTD ការពិសោធន៏ចាប់ផ្តើមដោយចាប់ផ្តើមសមាសធាតុទាំងប្រាំមួយនៃវាលអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចក្នុងបរិមាណបរិមាណជាក់លាក់។ នៅពេលពេលវេលារីកចម្រើនធាតុផ្សំវាលថ្មីនៅក្នុងបរិមាណត្រូវបានគណនាហើយដូច្នេះនៅលើ។ ជំហាននីមួយៗតម្រូវឱ្យមានការគណនាច្រើនដូច្នេះវាត្រូវការពេលយូរ។ នៅផ្នែករឹង 3D FDTD ជំនួសឱ្យការគណនានៅជំហាននីមួយៗនៅចំណុចនីមួយៗនៃបរិមាណនីមួយៗបញ្ជីនៃសមាសធាតុវាលត្រូវបានថែរក្សាដែលអាចទាក់ទងទៅនឹងបរិមាណដ៏ធំមួយហើយត្រូវបានគណនាសម្រាប់តែសមាសធាតុដែលមានលក្ខណៈដូចធម្មតា។ នៅពេលវេលានីមួយៗជំហាននៅជិតសមាសធាតុវាលត្រូវបានបន្ថែមខណៈពេលដែលសមាសធាតុវាលខាងក្រោមកម្រិតថាមពលជាក់លាក់ត្រូវបានទម្លាក់។ សម្រាប់រចនាសម្ព័ន្ធមួយចំនួនការគណនានេះអាចជាការបញ្ជាទិញជាច្រើននៃរ៉ិចទ័រលឿនជាងទំហំ 3D FDTD ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ FDTSs SDTSS មិនដំណើរការបានល្អទេនៅពេលដោះស្រាយរចនាសម្ព័ន្ធចែកចាយពីព្រោះពេលវេលានេះរីករាលដាលច្រើនដែលបណ្តាលឱ្យមានបញ្ជីវែងពេកហើយពិបាកគ្រប់គ្រង។ រូបភាពទី 1 បង្ហាញពីអត្ថបទមួយនៃរូបថតអេក្រង់នៃការក្លែងធ្វើអេហ្វឌីអេធីឌីស្រដៀងនឹងការបំបែកធ្នឹមដែលមានរាងប៉ូល (ភីអេសអេស) ។
រូបភាពទី 1: លទ្ធផលនៃការធ្វើត្រាប់តាមពី 3D Spears FDTD ។ (ក) គឺជាទិដ្ឋភាពកំពូលនៃរចនាសម្ព័ន្ធដែលត្រូវបានធ្វើត្រាប់តាមដែលជាគូស្វាម៉ីភរិយាទិសដៅ។ (ខ) បង្ហាញរូបថតអេក្រង់នៃការពិសោធន៏ដោយប្រើការរំភើបចិត្ត QUSI-Te ។ ដ្យាក្រាមទាំងពីរខាងលើបង្ហាញពីទិដ្ឋភាពកំពូលនៃសញ្ញា quasi-te និង quasi-tm ហើយដ្យាក្រាមទាំងពីរខាងក្រោមបង្ហាញពីទិដ្ឋភាពឆ្លងកាត់ដែលត្រូវគ្នា។ (គ) បង្ហាញរូបថតអេក្រង់នៃការពិសោធន៏ដោយប្រើការរំភើបអារម្មណ៍ QUASI-TM ។
ពេលវេលាក្រោយ: ខែកក្កដា-23-2024